MEMS (Mikro Elektro Mekanik Sistemler), mikrometre boyutlarında (1 ila 100 mikrometre) olan minyatür mekanik ve elektromekanik elemanlardan oluşan bir teknolojidir. MEMS cihazları genellikle silikon, polimerler, metaller ve seramikler gibi çeşitli malzemelerden üretilir.
Temel Özellikleri ve Bileşenleri:
Mikro Boyut: MEMS'in en belirgin özelliği, çok küçük boyutlu olmasıdır. Bu, cihazların daha az yer kaplamasını, daha az enerji tüketmesini ve daha hızlı tepki vermesini sağlar.
Mekanik ve Elektriksel Entegrasyon: MEMS cihazları, mekanik (hareket, kuvvet, basınç) ve elektriksel (sensörler, aktüatörler, devreler) fonksiyonları tek bir çip üzerinde birleştirir.
Üretim Teknikleri: MEMS cihazları, yarı iletken endüstrisinde kullanılan mikrofabrikasyon teknikleri (örn. Litografi, Dağlama) ile üretilir.
Kullanım Alanları:
MEMS teknolojisi, çok çeşitli uygulamalarda kullanılır:
Avantajları:
Dezavantajları:
Ne Demek sitesindeki bilgiler kullanıcılar vasıtasıyla veya otomatik oluşturulmuştur. Buradaki bilgilerin doğru olduğu garanti edilmez. Düzeltilmesi gereken bilgi olduğunu düşünüyorsanız bizimle iletişime geçiniz. Her türlü görüş, destek ve önerileriniz için iletisim@nedemek.page